标准编号:	GB/T 14602-2014
中文名称:	电子工业用气体 氯化氢
英文名称:	Gases for electronic industry―Hydrogen chloride
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.100.20 71.100.20    工业气体 71.100.20
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2014-12-22
实施日期:	2015-7-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 14603-2025 电子气体 卤化物气体
被替代日期:	2026-2-1
替代旧标准:	GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢 GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。
本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式:HCl。
相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。