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GB/T 14603-2025   电子气体 卤化物气体 (英文)
标准编号: GB/T 14603-2025 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: GB/T 14603-2025
中文名称: 电子气体 卤化物气体
英文名称: Electronic gas - Halide gas
行业分类: GB    国家标准
发布机构: 国家市场监督管理总局;国家标准化管理委员会
发布日期: 2025-8-1
实施日期: 2026-2-1
标准状态: valid
替代旧标准:GB/T 14603-2009 GB/T 14603-2009 Gases for electronic industry-Boron trifluoride
GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
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