标准编号:	GB/T 14602-1993
中文名称:	电子工业用气体 氯化氢
英文名称:	for electronic industry. Hydrogen chloride
中标分类:	G86    工业气体与化学气体
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.100.20 71.100.20    工业气体 71.100.20
发布机构:	国家质量技术监督局
发布日期:	1993-8-26
实施日期:	1994-7-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
被替代日期:	2015-7-1
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。