标准编号:	T/ZSA 231-2024
中文名称:	氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:	Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
中标分类:	H21    金属物理性能试验方法
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构:	中关村标准化协会
发布日期:	2024-05-15
实施日期:	2024-5-16
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。
本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。