标准编号:	YS/T 983-2014
中文名称:	多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称:	Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
中标分类:	17
行业分类:	YS    有色金属行业标准
ICS分类:	77.040 77.040    金属材料试验 77.040
发布机构:	工业和信息化部
发布日期:	2014-10-14
实施日期:	2015-4-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法
被替代日期:	2025-5-1
作废日期:	2025-05-01
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。