YS/T 26-1992 英文版, YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法 - YS/T 26-1992, YS 26-1992, YST 26-1992, YS/T26-1992, YS/T 26, YS/T26, YS26-1992, YS 26, YS26, YST26-1992, YST 26, YST26

中标分类行业分类 ICS分类最新标准

标准编号:	YS/T 26-1992
中文名称:	硅片边缘轮郭检验方法
英文名称:	Test method for silicon wafer edge
中标分类:	H81 半金属
行业分类:	YS 有色金属行业标准
ICS分类:	29.045 29.045 半导体材料 29.045
发布机构:	中国有色金属工业总公司
发布日期:	1992-3-9
实施日期:	1993-1-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
被替代日期:	2017-1-1
翻译语言:	英文

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