标准编号:	T/CPIA 0065-2024
中文名称:	异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
英文名称:	Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for heterojunctionphotovoltaic cells
中标分类:	F12    太阳能
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	27.160 27.160    太阳能工程 27.160
发布日期:	2024-03-10
实施日期:	2024-3-15
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。