标准编号:	T/CEMIA 043-2024
中文名称:	集成电路扩散设备用石英外管
英文名称:	Quartz outer tubes for integrated circuit diffusion equipment
中标分类:	Q35    石英玻璃
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	81.040.30 81.040.30    玻璃产品 81.040.30
发布机构:	中国电子材料行业协会
发布日期:	2024-11-05
实施日期:	2025-1-15
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	23000 字
翻译价格(元):	1610.0
交付时间:	付款后 1~5 个工作日

本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。