标准编号:	T/CEMIA 023-2021
中文名称:	半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称:	Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
中标分类:	L90    电子技术专用材料
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构:	中国电子材料行业协会
发布日期:	2021-07-15
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。