标准编号:	SJ/T 12000-2025
中文名称:	化合物半导体芯片工厂设计规范
行业分类:	SJ    电子行业标准
发布机构:	中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:	2025-04-10
实施日期:	2025-8-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本规范适用于新建、改建和扩建的化合物半导体芯片工厂的工程设计。主要技术内容包括：总则、术语、基本规定、工艺、总图、建筑与结构、气体动力、暖通与净化、给排水、化学品、电气、空间管理、绿色低碳等。