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JC/T 2133-2012   半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 -电感耦合等离子体原子发射光谱法 (英文)
标准编号: JC/T 2133-2012 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: JC/T 2133-2012
中文名称: 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 -电感耦合等离子体原子发射光谱法
英文名称: Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
中标分类: C14    解热镇痛、麻醉与中枢神经系统用药
行业分类: JC    建筑材料行业标准
ICS分类: 71.040 71.040    分析化学 71.040
发布机构: 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期: 2012-12-28
实施日期: 2013-6-1
标准状态: valid
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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