标准编号:	JC/T 181-2011
中文名称:	半导体用透明石英玻璃器件
英文名称:	Transparent quartz glass devices for semiconductor
中标分类:	Q35    石英玻璃
行业分类:	JC    建筑材料行业标准
ICS分类:	81.040.30 81.040.30    玻璃产品 81.040.30
发布机构:	中华人民共和国国家经济贸易委员会
发布日期:	2011-12-20
实施日期:	2012-7-1
标准状态:	abolished
作废日期:	2017-05-12
替代旧标准:	JC/T 181-1981
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。