标准编号:	GB/T 32996-2016
中文名称:	表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
英文名称:	Surface chemical analysis-Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.040.40 71.040.40    化学分析 71.040.40
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2016-10-13
实施日期:	2017-9-1
标准状态:	to be superseded
被新标准替代:	GB/T 32996-2025 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
被替代日期:	2026-1-1
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	33000 字
翻译价格(元):	1980.0
交付时间:	付款后 1~5 个工作日

本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。