标准编号:	GB/T 31351-2014
中文名称:	碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文名称:	Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
中标分类:	H26    金属无损检验方法
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	77.040.99 77.040.99    金属材料的其他试验方法 77.040.99
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2014-12-31
实施日期:	2015-9-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 30868-2025 碳化硅单晶片微管密度测试方法
被替代日期:	2026-2-1
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
　　
　　本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。