标准编号:	GB/T 29190-2012
中文名称:	扫描探针显微镜漂移速率测量方法
英文名称:	Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
中标分类:	A60    光学计量
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	17.180.99 17.180.99    有关光学和光学测量的其他标准 17.180.99
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2012-12-31
实施日期:	2013-6-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
翻译字数:	18000 字
交付时间:	1~3 个工作日

本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。