标准编号:	GB/T 20175-2025
中文名称:	表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称:	Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
中标分类:	G04    基础标准与通用方法
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.040.40 71.040.40    化学分析 71.040.40
发布机构:	国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:	2025-06-30
实施日期:	2026-1-1
标准状态:	to be valid
替代旧标准:	GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	25000 字
翻译价格(元):	1750.0
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本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。