标准编号:	GB/T 17874-1999
中文名称:	电子工业用气体 三氯化硼
英文名称:	Gases for electronic industry--Boron Trichloride
中标分类:	G86    工业气体与化学气体
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.100.20 71.100.20    工业气体 71.100.20
发布机构:	国家质量技术监督局
发布日期:	1999-09-01
实施日期:	2000-6-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 17874-2010 电子工业用气体　三氯化硼
被替代日期:	2011-5-1
作废日期:	2011-05-01
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。