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GB 6623-1986   硅抛光片表面热氧化层错的测试方法 (英文)
标准编号: GB 6623-1986 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: GB 6623-1986
中文名称: 硅抛光片表面热氧化层错的测试方法
英文名称: Standard method for measuring the surface O. S. F of polished silicon wafers
中标分类: H26    金属无损检验方法
行业分类: GB    国家标准
实施日期: 1987-7-1
标准状态: superseded
被新标准替代:GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
被替代日期:1995-1-2
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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