标准编号:	T/ICMTIA SM0028-2022
中文名称:	集成电路用电子级多晶硅
行业分类:	T/    团体标准
发布机构:	中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:	2022-05-10
实施日期:	2022-5-31
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。