标准编号:	HG/T 4509-2013
中文名称:	工业高纯氢氟酸
英文名称:	High Purity Hydrofluoric Acid for Industrial Use
中标分类:	G11    无机酸、碱
行业分类:	HG    化工行业标准
ICS分类:	71.060.30 71.060.30    酸 71.060.30
发布机构:	中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:	2013-10-17
实施日期:	2014-3-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	HG/T 4509-2023 工业高纯氢氟酸
被替代日期:	2024-7-1
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	10000 字
翻译价格(元):	600.0
交付时间:	付款后 1~3 个工作日

本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。