标准编号:	GB/T 28632-2012
中文名称:	表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
英文名称:	Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
中标分类:	G04    基础标准与通用方法
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.040.40 71.040.40    化学分析 71.040.40
发布机构:	国家标准化委员会 国家质量监督检验检疫总局
发布日期:	2012-7-31
实施日期:	2013-2-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	22000 字
翻译价格(元):	1320.0
交付时间:	付款后 1~3 个工作日

本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。