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GB/T 24582-2009   酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 (英文版)
标准编号: GB/T 24582-2009 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
中文字符数: 6000 字 翻译价格(元):800.0 订阅价格变动提醒
实施日期:2010-6-1 交付时间: 付款后 1~3 个工作日
标准编号: GB/T 24582-2009
中文名称: 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
英文名称: Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
中标分类: H80    半金属与半导体材料综合
行业分类: GB    国家标准
ICS分类: 29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-6-1
标准状态: superseded
被新标准替代:GB/T 24582-2023 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
被替代日期:2024-3-1
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