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GB/T 24580-2009   重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 (英文版)
标准编号: GB/T 24580-2009 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
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实施日期:2010-6-1 交付时间: 付款后 1~3 个工作日
标准编号: GB/T 24580-2009
中文名称: 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
英文名称: Test method for measuring Boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
中标分类: H80    半金属与半导体材料综合
行业分类: GB    国家标准
ICS分类: 29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-6-1
标准状态: valid
翻译语言: 英文
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