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GB/T 16596-1996   确定晶片坐标系规范 (英文)
标准编号: GB/T 16596-1996 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: GB/T 16596-1996
中文名称: 确定晶片坐标系规范
英文名称: Specification for establishing a wafer coordinate system
中标分类: H21    金属物理性能试验方法
行业分类: GB    国家标准
ICS分类: 29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构: 国家质量技术监督局
发布日期: 1996-1-1
实施日期: 1997-4-1
标准状态: superseded
被新标准替代:GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
被替代日期:2020-2-1
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
翻译字数: 5000 字
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