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GB 11481-1989   掩模对准曝光机通用技术条件 (英文版)
标准编号: GB 11481-1989 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
中文字符数: 11000 字 翻译价格(元):900.0 订阅价格变动提醒
实施日期:1990-3-1 交付时间: 付款后 1~3 个工作日
标准编号: GB 11481-1989
中文名称: 掩模对准曝光机通用技术条件
英文名称: General specification of mask alignment and exposure system
中标分类: N38    光学设备
行业分类: GB    国家标准
实施日期: 1990-3-1
标准状态: superseded
被新标准替代:SJ/T 11079-1996 掩模对准曝光机通用技术条件
被替代日期:1997-1-1
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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